| 发明名称 |
SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050078205(A) |
申请公布日期 |
2005.08.04 |
| 申请号 |
KR20050005783 |
申请日期 |
2005.01.21 |
| 申请人 |
NIDEC-READ CORPORATION |
发明人 |
YAMASHITA MUNEHIRO;NAKAI HARUTAKA |
| 分类号 |
G01R31/02;H01J9/42;H05K3/00;(IPC1-7):H01J11/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
