制作光学元件封盖的方法

摘要

本发明提供一种制作光学元件封盖的方法，其包括：提供具有多个通孔的晶片，并将玻璃晶片置于该晶片上。之后提供置于玻璃晶片上的具有多个凹槽的电极板，其中凹槽对应于晶片的通孔，使得电极板在对应通孔的位置未与玻璃晶片接触。最后，提供电压源，并分别将晶片与电极板与电压源的两个电极电性连接，利用阳极接合方式接合晶片与玻璃晶片，而形成多个光学元件封盖。

主权项

1. 一种制作光学元件封盖的方法，包含有：提供晶片，并在该晶片上形成多个通孔；将玻璃晶片置于该晶片上；提供电极板，并将该电极板置于该玻璃晶片上，其中该电极板具有多个凹槽，对应于该晶片的这些通孔，使得该电极板在对应这些通孔的位置未与该玻璃晶片接触；以及提供电压源，并分别将该晶片与该电极板与该电压源的两个电极电性连接，使该晶片与该电极板之间产生电压差，由此利用阳极接合方式接合该晶片与该玻璃晶片，而形成多个光学元件封盖。