一种复合抛光液

摘要

本发明公开了一种复合抛光液，解决现有技术中针对单晶硅、硒化锌、硫化锌、单晶锗等的抛光液不够环保，且需要在较强酸性环境下进行抛光进而影响抛光用设备的使用寿命的问题。本发明的抛光液包括2～4wt%的三氧化二铝、6～9wt%的二氧化硅、0.5～1.5wt%的氧化剂，其余为水。本发明具有绿色、环保等优点，且本发明能有效在弱酸性和碱性条件下去除元件表面麻点、道子，同时兼顾抛光效果和抛光效率。

主权项

一种复合抛光液，其特征在于，包括2～4wt%的三氧化二铝、6～9wt%的二氧化硅、0.5～1.5wt%的氧化剂，其余为水。