一种可调式石墨坩埚

摘要

本发明涉及一种坩埚，尤其是一种可调式石墨坩埚。其包括：环形石墨卡箍、筒体和石墨底板，所述石墨底板的顶面开设有环形卡槽，所述筒体为中空的顶部直径大底部直径小的圆台形，所述筒体由若干块石墨护板依次拼合组成，所述石墨护板底部放置于环形卡槽中，所述筒体的内壁面与具有拔模斜度的石英坩埚的外壁面紧密贴合，所述石墨卡箍箍于筒体顶部。它有效解决了整体式石墨坩埚受感应发热的问题、不方便拆卸的问题及分瓣式石墨坩埚护板存在的相邻护板无法相互支撑、护板间隙不方便调整、易产生电火花的问题，以及石墨坩埚与石英坩埚之间存在间隙，无法紧密贴合对石英坩埚进行有效支撑的问题。

主权项

一种可调式石墨坩埚，其特征在于，包括：环形石墨卡箍(1)、筒体(2)和石墨底板(3)，所述石墨底板(3)的顶面开设有环形卡槽(30)，所述筒体(2)为中空的顶部直径大底部直径小的圆台形，所述筒体(2)由若干块石墨护板(20)依次拼合组成，所述石墨护板(20)底部放置于环形卡槽(30)中，所述筒体(2)的内壁面与具有拔模斜度的石英坩埚(4)的外壁面紧密贴合，所述石墨卡箍(1)箍于筒体(2)顶部。