晶圆置放架

摘要

本创作系一种晶圆置放架，包含至少二呈相对应设置之侧板；多数二端分别设于各侧板相对应一面上且邻近各侧板二侧及底缘之支撑杆；多数二端分别设于各侧板相对应一面上且邻近各支撑杆相对应内侧缘之固定杆；以及多数分别相对应设于各固定杆内侧缘之承载单元。藉此，可将所需之晶圆集中置放于承载单元中，除可防止晶圆于存放时产生破裂及污损之外，亦可同时达到易于取用及搬运之功效。

主权项

1.一种晶圆置放架,其包括有: 至少二侧板,系呈相对应设置; 多数支撑杆,其二端系分别设于上述二侧板相对应 之一面上且邻近各侧板之二侧及底缘; 多数固定杆,其二端系分别设于上述二侧板相对应 之一面上且邻近各支撑杆相对应之内侧缘;以及 多数承载单元,系分别相对应设于上述各固定杆之 内侧缘。 2.依申请专利范围第1项所述之晶圆置放架,其中, 各支撑杆之二端系分别配合固定元件与侧板固接 。 3.依申请专利范围第1项所述之晶圆置放架,其中, 各固定杆之二端系分别配合固定元件与侧板固接 。 4.依申请专利范围第1项所述之晶圆置放架,其中, 各承载单元包含有配合固定元件与固定杆固接之 底板、多数垂直设于底板上之延伸板、及多数由 各延伸板间所定义出之嵌槽。 图式简单说明: 第一图,系本创作之立体分解示意图。 第二图,系本创作之立体外观示意图。 第三图,系本创作之使用状态示意图。