| 发明名称 |
WAFER CASSETTE CARRYING DEVICE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06329209(A) |
申请公布日期 |
1994.11.29 |
| 申请号 |
JP19930141601 |
申请日期 |
1993.05.20 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HOSAKA EIJI;KAIHATSU HIDEKI;YOSHIDA HISASHI |
| 分类号 |
B65G1/02;B65G1/00;B65G1/04;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G1/04 |
主分类号 |
B65G1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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