| 发明名称 |
OPERATING METHOD OF PLASMA DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06342776(A) |
申请公布日期 |
1994.12.13 |
| 申请号 |
JP19930156284 |
申请日期 |
1993.06.01 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK |
发明人 |
WATANABE MASAHIDE;KUBOTA MASAMI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/50;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
