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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING THIN FILMS
摘要
申请公布号 EP0763147(A1) 申请公布日期 1997.03.19
申请号 EP19950903616 申请日期 1994.12.23
申请人 MATERIALS RESEARCH CORPORATION 发明人 FOSTER, ROBERT, F.;HILLMAN, JOSEPH, T.;LEBLANC, RENE, E.
分类号 C23C16/50;C23C16/00;C23C16/04;C23C16/14;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/509;C23C16/56;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L51/30;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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