,申请号JP20000608419-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP2002540625(A)	申请公布日期	2002.11.26
申请号	JP20000608419	申请日期	2000.03.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;G01B11/00;G02B7/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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