| 发明名称 | 气密模块以及该气密模块的排气方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种气密模块以及该气密模块的排气方法，能够不降低生产效率地防止在基板的主面形成的图案发生倾倒。基板处理系统的负载锁定模块(5)具有移载臂(31)、腔室(32)以及负载锁定模块排气系统(34)，在腔室(32)内以与搬入到腔室(32)内的晶片(W)的主面相对的方式配置有板状部件(36)，在晶片(W)的主面的正上方，通过晶片(W)的主面和板状部件(36)划分成与腔室(32)的剩余部分隔离的排气流路，该排气流路的截面积比腔室(32)的剩余部分的截面积小。 | ||
| 申请公布号 | CN101355018A | 申请公布日期 | 2009.01.28 |
| 申请号 | CN200810144215.5 | 申请日期 | 2008.07.25 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 守屋刚 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01L21/677(2006.01);C23C16/54(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘春成 |
| 主权项 | 1.一种气密模块，该气密模块具有腔室，被实施规定的处理而在主面上形成有图案的基板被搬入到该腔室内，所述气密模块的特征在于，包括：以与所述被搬入的基板的所述主面相对的方式配置的板状部件。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||