MOTION AND FOCUS BLUR REMOVAL FROM PATTERN IMAGES

摘要

이동 웨이퍼 이미징 시스템은 근사 점상 분포 함수를 결정하기 위하여 블라인드 디콘볼루션을 수행함으로써, 모션 및 초점 블러를 제거하기 위해 웨이퍼 이미지들을 프로세싱한다. 근사 점상 분포 함수, 추정 이미지 노이즈 및 가우시안 점상 분포 함수는 가중 점상 분포 함수를 계산하는데 사용된다. 가중 점상 분포 함수는 모션 초점 블러를 필터링 제거하는데 사용된다. 노이즈는 그 후, 로우 패스 필터로 제거된다.