| 摘要 |
三次元ナノ構造を生成するためのシステム及び方法が開示される。このシステムは、結合剤を使用してキャリアに結合された基材を備える。この結合剤は気化性又は昇華性である。キャリアは、ガラス又はガラス状物質であることができる。いくつかの実施形態では、キャリアは透過性であることができ、結合剤が熱、圧力、光その他の方法によって気体状態に変換されたときに逃げることができる１個又は複数の孔を有する。基材は、結合剤を使用してキャリアに結合される。続いて、基材は、膜を形成するように処理加工される。この処理は、研削、研磨、エッチング、パターニングその他の工程を含むことができる。その後、処理加工された膜は、受容基材又は予め配置された膜に位置合わせされ固定される。 |
