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发明名称 WASHING OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH0459700(A) 申请公布日期 1992.02.26
申请号 JP19900168435 申请日期 1990.06.28
申请人 NIPPON STEEL CORP;NITSUTETSU DENSHI KK 发明人 OTSUKA SUSUMU;SAKON TADASHI;MUNEHIRA SHIYUUJI
分类号 C30B33/00;H01L21/304 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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