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发明名称
Low pressure stagnation flow reactors with a flow barrier
摘要
申请公布号
AU4094699(A)
申请公布日期
2000.12.05
申请号
AU19990040946
申请日期
1999.05.19
申请人
STEVEN R. VOSEN
发明人
STEVEN R. VOSEN
分类号
B05D1/08;C23C16/00;H01L21/30
主分类号
B05D1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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