| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'ELEMENTS SEMI-CONDUCTEURS PRESENTANT DES STRUCTURES MICROMECANIQUES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2748159(B1) |
申请公布日期 |
2005.09.02 |
| 申请号 |
FR19970004539 |
申请日期 |
1997.04.14 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
LAERMER FRANZ;SCHILP ANDREA |
| 分类号 |
B81C3/00;G01P15/08;G01P15/125;(IPC1-7):H01L49/00 |
主分类号 |
B81C3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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