微位移感测器

摘要

本发明涉及一种微位移感测器,包括第一光子晶体模组、第二光子晶体模组、镭射源及探测器。第一光子晶体模组包括固定设置的第一基底及呈矩阵方式垂直排列于第一基底上的第一晶柱。第一晶柱矩阵内通过第一晶柱的缺失形成第一导光通道,该第一导光通道包括第一水平通道及分别设置有入光口与出光口且分别与第一水平通道两末端连通的两第一垂直通道。镭射源设置于入光口处。第二光子晶体模组包括可移动的第二基底及呈矩阵方式垂直排列于第二基底上的第二晶柱。第二晶柱矩阵内通过第二晶柱的缺失形成第二导光通道,该第二导光通道包括与第一水平通道平行且相耦合的第二水平通道及形成探测口的第二垂直通道。探测器设于探测口处并与该探测口相对固定。