| 摘要 |
과제이물의 혼입이 적은 약액 공급 시스템 및 그것에 사용하는 약액용 용기의 제공.해결수단용기의 개구부에, 봉지 부재로 봉지된 내측 캡 부재가 끼워 맞춰진 약액용 용기를 사용한 약액 공급 시스템. 사용시에는 상기 봉지 부재를 파단 등 하여 개구부를 개구시켜 송액용 배관을 삽입하고, 내측 캡 부재의 내측 중공부에 형성된 송액 튜브의 헤더부에 연결시킨다. 또한 송액용 배관에 병설된 기체 도입용 배관으로부터 기체를 도입하고, 용기 내부의 압력을 상승시켜 용기 내의 약액을 용기외로 공급한다. |
