| 发明名称 | 硅片批次管理方法及系统 | ||
| 摘要 | 本发明的硅片批次管理方法及系统，应用于在硅片的处理流程中，包括：设定聚集规则和流程聚集等级；流程聚集等级包括不同的聚集类别；选择符合流程聚集等级和/或聚集规则的硅片批次，然后转移硅片。本发明实现了系统的自动批次聚集或解散的操作和控制，避免出现交叉污染的情况，以及实现对特殊产品的重点控制。 | ||
| 申请公布号 | CN106056464A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201610498407.0 | 申请日期 | 2016.06.30 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 马兰涛;陈毅俊;朱骏 |
| 分类号 | G06Q50/04(2012.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | G06Q50/04(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人 | 吴世华;陈慧弘 |
| 主权项 | 一种硅片批次管理方法，应用于在硅片的处理流程中，其特征在于，包括：步骤01：设定聚集规则和流程聚集等级；流程聚集等级包括不同的聚集类别；步骤02：选择符合流程聚集等级和/或聚集规则的硅片批次，然后转移硅片。 | ||
| 地址 | 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 | ||