摘要 |
Ein interferometrischer Sensor wird bereitgestellt mit einem oder mehreren Wellengeneratoren (20, 20'), der mindestens einen ersten Satz von zwei Wellen erzeugt, die beide bei einer ersten Wellenlänge zentriert sind, und einen zweiten Satz von zwei Wellen, die beide bei einer anderen zweiten Wellenlänge zentriert sind, und einem Erfassungselement (22), bei dem eine Messgröße jeweils eine erste relative Phasenverschiebung zwischen dem ersten Satz von Wellen und eine zweite relative Phasenverschiebung zwischen dem zweiten Satz von Wellen induziert, mindestens einem Detektor (26, 26'), der ein erstes Interferenzsignal zwischen dem ersten Satz von Wellen und ein zweites Interferenzsignal zwischen dem zweiten Satz von Wellen misst, und ferner umfassend eine Signalverarbeitungseinheit (31), die dafür ausgelegt ist, anhand des ersten und des zweiten Interferenzsignals zwei Größen zu bestimmen, die jeweils die Hauptwerte der ersten und der zweiten relativen Phasenverschiebung nichtmehrdeutig innerhalb eines 2π-Bereichs repräsentieren, und einen Messgrößenwert aus deren Kombination abzuleiten. |