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发明名称 MEASURING METHOD FOR EDDY CURRENT DETECTION LEVEL IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10142267(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960293729 申请日期 1996.11.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YATANI YOSHIAKI
分类号 G01R31/02;G01R19/00;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R19/00 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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