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发明名称 DEVICE FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
摘要
申请公布号 EP0956583(A1) 申请公布日期 1999.11.17
申请号 EP19970915452 申请日期 1997.03.27
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 OSHINOWO, JOHN
分类号 H01L21/304;B08B3/10;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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