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发明名称 CORROSION PROTECTIVE AGENT
摘要 <p>A corrosion protective agent for protecting the corrosion of a metal film formed on a semiconductor wafer, characterized in that it comprises a heterocyclic compound having a six-membered ring containing a nitrogen atom.</p>
申请公布号 WO2002000965(P1) 申请公布日期 2002.01.03
申请号 JP2001005504 申请日期 2001.06.27
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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