| 摘要 |
提供一种使用中性粒子束的表面处理装置，藉由该表面处理装置根本地实行高品质的表面处理，以及达成高表面处理速率。该表面处理装置用于藉由中性粒子束来实行待被处理的物体之表面处理，该待被处理的物体系配置在真空处理室中，并且设置有光源，用于以光来照射该待被处理的物体。在该表面处理装置中，施加至该待被处理的物体之光系为包括具有380 nm或更短波长之光线的光。具有380 nm或更短波长的该些光线，在该待被处理的物体之待被处理的表面上之照度系为7 mW/㎝#sP!2#eP!或更高。该光源较佳系为氙闪光灯，且在该待被处理的物体之待被处理的表面上之照度系为20 mW/㎝#sP!2#eP!或更高。 |
