发明名称 モジュールをウエハ基板上に取り付ける方法
摘要 本開示の態様は、2つの端部をもつモジュール脚およびモジュール足を備える基板にモジュールを装着するための取付デバイスを説明する。モジュール脚の一端はモジュールの底面に取り付けられるように構成され、モジュール脚の他端はモジュール足に取り付けられるように構成される。モジュール足の少なくとも一部は、基板に取り付けられるように構成される。またモジュール足の表面領域の一部は、モジュールによって覆われた領域の外側に露出されるように構成される。本要約は、研究者または他の読者が技術的開示の主題をすぐに確認できるように、要約を必要とする規則に準拠して提供されるものであることを強調しておく。これは、特許請求項の範囲または意味を解釈または限定するために使用されるものではないという理解のもとに提出される。
申请公布号 JP2016522565(A) 申请公布日期 2016.07.28
申请号 JP20150555337 申请日期 2014.01.24
申请人 ケーエルエー−テンカー コーポレイション 发明人 ビシャル バイブハウ;グエン アンドリュー;ハーン クリス;サン メイ
分类号 H01L21/66;B65G49/07;G01K1/14;H01L23/32;H01L23/34 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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