| 摘要 |
Ein Mikrofon umfasst eine Zwischenlage, ein Lid, und eine Basis. Die Zwischenlage umfasst zumindest einem Wandabschnitt, der eine Aussparung bildet. Der Wandabschnitt umfasst eine erste Seite und eine zweite Seite, die einander gegenüber liegen. Das Lid ist mit der ersten Seite der Zwischenlage gekoppelt, und die Basis ist mit der zweiten Seite der Zwischenlage gekoppelt, so dass das Lid und die Basis die Aussparung einschließen. Ein Mikroelektromechaniksystem-(MEMS)-Gerät ist in der Aussparung angeordnet. Die Zwischenlage stützt strukturell eines oder beide aus dem Lid und der Basis. Die Zwischenlage umfasst eine Vielzahl von metallisierten Bereichen, die dazu eingerichtet sind, um das Lid und die Basis elektrisch zu verbinden. Die metallisierten Bereiche sind dazu eingerichtet, um zumindest teilweise freigelegt und zu der Aussparung hin offen zu sein. |
