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发明名称
PROJECTION EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10142555(A)
申请公布日期
1998.05.29
申请号
JP19960309975
申请日期
1996.11.06
申请人
NIKON CORP
发明人
CHIBA HIROSHI
分类号
G03F7/20;G02B27/18;H01L21/027;(IPC1-7):G02B27/18
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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