PROCESS FOR PRODUCING LIGHT-GUIDING STRUCTURES

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Mikrolinsen in Silizium vorgeschlagen, wobei eine Vorläuferlackstruktur hergestellt wird, welche sodann unter Einfluss von Wärme in einer Lösungsmittelatmosphäre so weit verläuft, dass sie die gewünschte Linsenform annimmt. Zunächst wird auf dem Substrat (1) ganzflächig durch Aufschleudern eine Lackschicht (4) aus Photolack mit definierter Dicke aufgetragen. Anschliessend wird dem Lack durch einen Temperprozess der grösste Teil des Lösungsmittels entzogen. Auf die gehärtete Lackschicht (4) wird eine Maske (5) aufgelegt. Die Maske weist im hier gewählten Ausführungsbeispiel eine Kreisform auf, so dass sie im Lack zylinderförmige Bereiche definiert, aus welchen später die Linsen geformt werden. Die mit der Maske (5) belegte Lackschicht (4) wird Licht einer geeigneten Wellenlänge ausgesetzt, so dass die exponierten Bereiche der Lackschicht (4) den belichteten Teil (8) der Lackschicht (4) und die von der Maske (5) bedeckten Bereiche den unbelichteten Teil (9) der Lackschicht (4) bilden. Das Substrat (1) mit darauf befindlicher Lackstruktur (6) wird nun bei erhöhter Temperatur, beispielweise 70 DEG C, einer kontrollierten Lösungsmittelatmosphäre ausgesetzt.