发明名称 FACING TARGET TYPE SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20010098215(A) 申请公布日期 2001.11.08
申请号 KR20000023000 申请日期 2000.04.28
申请人 KIM, KYUNG HWAN 发明人 KIM, KYUNG HWAN
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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