承载体、承载体搬运器和半导体搬运设备的对准方法和装置

摘要

根据本发明优选实施例的承载体对准工具系统提供了一种工具和使用该工具的方法，其模仿具有可拆卸门的衬底承载体的门。该工具允许在开始衬底处理之前，将开门器机构与承载体在其上被支撑、被测试和校正的装载端口或其他搬运器对准，直到达到正确的对准。

主权项

1.一种计量工具，用于对准具有接合构件的机械手，所述接合构件用于与位于工具装载端口上的半导体衬底承载体接合，所述工具包括：具有开口的框架；和可滑动地容纳在所述框架开口中的可拆卸对准度量器构件，所述对准度量器构件具有开口以在被插入所述框架开口时容纳所述机械手接合构件。