生产用溶液供给系统及方法

摘要

本发明提供了一种生产用溶液供给系统以及用于方便地供给生产用溶液的方法。生产用溶液供给装置在可控的温度下将生产用溶液提供给用于通过多个喷头将生产用溶液喷射到基片上的处理装置。将生产用溶液通过通道输送到喷头，在一个实施例中，其可包括管道装置。通道可方便地利用连接管、热传感器、及管道装置控制温度，以便从多个喷头喷射的生产用溶液的温度基本等于最初从生产用溶液供给装置供给的生产用溶液的温度。

主权项

1.一种生产用溶液供给系统，包括：生产用溶液供给装置，用于在第一温度下提供生产用溶液，其中所述生产用溶液供给装置包括第一温度控制器；处理装置，包括用于向基片喷射所述生产用溶液的多个喷头；以及通道，可操作地将所述生产用溶液供给装置与多个喷头，其中所述通道包括多个通路及第二温度调整器，以便从所述多个喷头喷射的所述生产用溶液具有基本等于来自所述生产用溶液供给装置的所述生产用溶液的所述第一温度的温度。