| 发明名称 |
A LOAD LOCK FOR COOLING WAFERS AND A METHOD OF COOLING THE WAFERS |
| 摘要 |
본 발명에 따르면, 웨이퍼를 저압 환경으로부터 고압 환경으로 전달하고 웨이퍼를 냉각시키기 위한 장치와 방법들이 제공된다. 이 장치는 냉각 페데스탈과 상기 냉각 페데스탈 위에 웨이퍼를 고정하기 위한 한 세트의 서포트들을 포함할 수 있다. 냉각 페데스탈과 웨이퍼 사이의 평균 간격은 약 0.010인치 이하일 수 있다. 웨이퍼를 전달하는 단계 동안 상기 장치 내부의 압력을 올리기 위하여 벤팅 가스가 사용될 수 있다. 특정 구체예에서, 벤팅 가스는 질소를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101645053(B1) |
申请公布日期 |
2016.08.02 |
| 申请号 |
KR20117015366 |
申请日期 |
2009.12.07 |
| 申请人 |
노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 |
发明人 |
게이지, 크리스토퍼;폼로이, 찰스, 이.;코헨, 데이비드;칼야나순다람, 나가라잔 |
| 分类号 |
H01L21/67;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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