摘要 |
<p>Prosess for å produsere silisiumtetraklorid, SiCl4, ved reaksjon mellom silisium metall, Si, og klor, Cl2, i en reaktor. Temperaturen og reaksjonshastigheten kontrolleres ved samtidig direkte innsprøyting av klor og et kjølemedium i reaksjonssonen til en reaktor. Kjølemediet kan fortrinnsvis være silisiumtetraklorid eller en inert gass.</p> |