一种镀膜机

摘要

本发明公开了一种镀膜机，包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，装料机构设置于真空炉顶端靠近边缘处，装料机构的底部与真空炉连通；溅射靶组位于真空炉顶端且与装料机构相邻处；传动输送机构设置于真空炉内且与溅射靶组对应，传动输送机构的底端与真空炉的底部内侧可拆卸连接；真空抽吸组位于真空炉的外侧并通过管道与真空炉相通；装料机构内侧壁上设置有一加热系统；传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与控制中心电连接。本发明中的镀膜机分三个阶段抽真空，保证抽真空时不产生明显压差，避免粉末飞起；传动输送机构一体设置便于拆卸替换或清理，还可根据粉体颗粒的大小进行合适的振动源的调节。

主权项

一种镀膜机，其特征在于：包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，所述装料机构设置于所述真空炉顶端靠近边缘处，所述装料机构的底部与所述真空炉相连通；所述溅射靶组位于所述真空炉顶端且所述溅射靶组的一侧与所述装料机构相邻，所述溅射靶组的另一侧靠近所述真空炉顶端的另一边缘处；所述传动输送机构设置于所述真空炉内且与所述溅射靶组相对应，所述传动输送机构的底端与所述真空炉的底部内侧可拆卸的连接；所述真空抽吸组位于所述真空炉的外侧并通过管道与所述真空炉相通；所述装料机构内侧壁上设置有一加热系统；所述传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与所述控制中心电连接。