发明名称 |
OPTICAL SELECTIVE METAL DEPOSITION METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS63105973(A) |
申请公布日期 |
1988.05.11 |
申请号 |
JP19870225472 |
申请日期 |
1987.09.10 |
申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO <GE> |
发明人 |
HAABAATO SUTANREI KOORU JIYUNIA;RAIONERU MONTEI REBINSON;YUN SHIEN RIU;TERESA AN SHITONITSUKU |
分类号 |
H01L21/3205;C23C18/14;C23C18/16;H05K3/00;H05K3/18 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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