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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN DER DICHTE UND HAERTE VON POROESEN, MITTELS PLASMA AUFGESPRUEHTEN BESCHICHTUNGEN.
摘要
申请公布号
DE3873972(D1)
申请公布日期
1992.10.01
申请号
DE19883873972
申请日期
1988.05.03
申请人
UNITED TECHNOLOGIES CORP., HARTFORD, CONN., US
发明人
PACKER, LOUIS L., ENFIELD CONNECTICUT 06082, US;JANOWSKY, GLENN T., COVENTRY CONNECTICUT 06238, US
分类号
C23C4/00;C23C4/12;G01N23/02;(IPC1-7):C23C4/12;B05D1/10;G01N9/00
主分类号
C23C4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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