| 发明名称 |
Exposure apparatus and method for forming thing film transistor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9625761(D0) |
申请公布日期 |
1997.01.29 |
| 申请号 |
GB19960025761 |
申请日期 |
1996.12.11 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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