| 发明名称 |
Method for forming fine patterns of a semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2302759(A) |
申请公布日期 |
1997.01.29 |
| 申请号 |
GB19960013344 |
申请日期 |
1996.06.26 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD |
发明人 |
CHEOL KYU * BOK |
| 分类号 |
H01L21/306;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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