摘要 |
<p>Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitrid (Si3N4) beschrieben. Bei dem Verfahren wird ein Gemisch oder eine Legierung aus Silicium und einem chemischen Element oder einer chemischen Verbindung, die mit dem Sauerstoff der Luft schneller als oder gleich schnell wie Silicium reagiert, hergestellt. Durch Oxidieren des chemischen Elementes oder der chemischen Verbindung mit dem Sauerstoff von zugeführter Luft wird die Reaktionstemperatur für die Verbrennung des verbleibenden Stickstoffes der Luft mit dem Silicium zu Siliciumnitrid erzeugt.</p> |