发明名称 METHOD FOR THE PRODUCTION OF SILICON NITRIDE
摘要 <p>Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitrid (Si3N4) beschrieben. Bei dem Verfahren wird ein Gemisch oder eine Legierung aus Silicium und einem chemischen Element oder einer chemischen Verbindung, die mit dem Sauerstoff der Luft schneller als oder gleich schnell wie Silicium reagiert, hergestellt. Durch Oxidieren des chemischen Elementes oder der chemischen Verbindung mit dem Sauerstoff von zugeführter Luft wird die Reaktionstemperatur für die Verbrennung des verbleibenden Stickstoffes der Luft mit dem Silicium zu Siliciumnitrid erzeugt.</p>
申请公布号 WO2002090254(A1) 申请公布日期 2002.11.14
申请号 DE2002001532 申请日期 2002.04.26
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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