发明名称 FLUORINATED SOLVENT COMPOSITIONS CONTAINING OZONE
摘要
申请公布号 EP1268734(B1) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP20000957319 申请日期 2000.08.08
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 ZAZERRA, LAWRENCE, A.;BEHR, FREDERICK, E.;PARENT, MICHAEL, J.;RAJTAR, PAUL, E.
分类号 C11D7/02;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;C11D11/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C11D7/50 主分类号 C11D7/02
代理机构 代理人
主权项
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