| 发明名称 | 适用于不同晶舟盒的晶片起托器 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其中，该起托器至少包括一个底座，至少一个水平放置在底座上方的固定板，至少一个固定在固定板上的凸块，该凸块可以从晶舟盒的底部将晶片托起。起托器包括多个呈阶梯状叠放的固定板，尺寸最大的固定板放置在最下层。每个固定板的尺寸大小分别对应于不同尺寸的晶舟盒。与现有技术相比，本实用新型的晶片起托器可以通过凸块稳固地将晶舟盒中的晶片托起，此外，还设置多个阶梯叠放的固定板，使该晶片起托器适用于不同尺寸的晶舟盒，有效地节约了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN201017858Y | 申请公布日期 | 2008.02.06 |
| 申请号 | CN200620049611.6 | 申请日期 | 2006.12.27 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 蓝仁隆;龚伟平;李向前;钱达 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01) | 主分类号 | H01L21/673(2006.01) |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王洁 |
| 主权项 | 1.一种适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于：该起托器至少包括一个底座，至少一个水平放置在底座上方的固定板，至少一个固定在固定板上的凸块，该凸块可以将晶片托起。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||