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发明名称 ELECTRICALLY EXCITED GAS DISCHARGE LASER FOR GENERATING HIGH-REPETITION FREQUENCY LIGHT PULSES AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1883999(A2) 申请公布日期 2008.02.06
申请号 EP20060753205 申请日期 2006.05.23
申请人 LTB-LASERTECHNIK BERLIN GMBH 发明人 SCHOLZ, MATTHIAS;SCHURACK, JOHANNES;SPRANZ, EDGAR;SEGSA, KARL, HEINZ;MUELLER, JOACHIM
分类号 H01S3/03;H01S3/038;H01S3/0971;H01S3/0975;H01S3/105 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
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