HERSTELLUNGSVERFAHREN ZUR VERBESSERUNG DER KAPAZITÄTSFLÄCHE IN DRAM SPEICHERZELLEN,申请号DE20036027508-传众专利搜索

发明名称	HERSTELLUNGSVERFAHREN ZUR VERBESSERUNG DER KAPAZITÄTSFLÄCHE IN DRAM SPEICHERZELLEN
摘要
申请公布号	DE60327508(D1)	申请公布日期	2009.06.18
申请号	DE20036027508	申请日期	2003.01.16
申请人	MICRON TECHNOLOGY INC.	发明人	YATES, DONALD L.;MERCALDI, GARRY A.;HOFMANN, JAMES J.
分类号	H01L21/8242;H01L21/02;H01L27/108	主分类号	H01L21/8242
代理机构		代理人
主权项
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