| 摘要 |
【課題】様々な平面形状の塗布対象物に対して均一に塗布可能な塗布装置、塗布方法及び塗布プログラムを提供する。【解決手段】ステージ１０と、塗布ヘッド２０と、制御部３０と、を含む塗布装置１１０が提供される。前記ステージ１０は、上面１０ｕを含む。前記塗布ヘッド２０は、前記上面１０ｕに略平行な第１軸２０ｒを中心として回転する。前記塗布ヘッド２０の前記第１軸２０ｒ方向の幅は、前記第１軸２０ｒを中心とする周方向Ｄ２に沿って変化する。前記制御部３０は、前記塗布ヘッド２０及び前記ステージ１０の少なくともいずれかに、前記上面１０ｕに対して略平行な第１面内で相対的な移動をさせる動作を実施する。【選択図】図１ |
