| 摘要 |
본 발명은, 웨이퍼의 휨을 평가하는 방법으로서, 흡착되어 있지 않은 프리 상태의 웨이퍼의 휨을 측정하는 제1의 공정과, 측정한 웨이퍼의 휨의 데이터를 사용하여, 웨이퍼 면내의 임의의 점 P를 통과하는 직선 상에 있고 점 P를 중심으로 하여 점 P로부터 거리 a만큼 떨어진 점 Q과 점 Q의 2점간의 웨이퍼 휨량 A와, 동일 직선 상에 있고 점 P를 중심으로 하여 점 P로부터 거리 a와는 다른 거리 b만큼 떨어진 점 R과 점 R의 2점간의 웨이퍼 휨량 B를 구하여, 웨이퍼 휨량 A 및 웨이퍼 휨량 B로부터 점 P에 있어서의 웨이퍼 휨량의 차이를 산출하는 제2의 공정을 가지고, 산출한 웨이퍼 휨량의 차이로부터 웨이퍼의 휨을 평가하는 방법이다. 이것에 의해, 웨이퍼를 흡착했을 때에 핀 척의 피치의 차이에 의해 생기는 휨의 수정정도의 차이를 나타내는 신규 파라미터를 도입하고, 이것을 사용하여 웨이퍼의 휨을 평가하는 방법이 제공된다. |
