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发明名称
ELECTRON BEAM ABRASION FILM FORMING METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH07316792(A)
申请公布日期
1995.12.05
申请号
JP19940111245
申请日期
1994.05.25
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
NISHIKAWA YUKIO;YOSHIDA ZENICHI;MIZUGUCHI SHINICHI;ISHIKAWA JUNZO
分类号
C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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