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发明名称 Method for forming resist patterns
摘要
申请公布号 GB2291207(B) 申请公布日期 1998.03.25
申请号 GB19950014185 申请日期 1995.07.12
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 SANG MAN * BAE;KI HO * BAIK
分类号 G03F7/11;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
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