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发明名称 Verfahren zum Entfernen siliciumhaltiger Beschichtungen
摘要
申请公布号 DE19703204(A1) 申请公布日期 1998.07.30
申请号 DE19971003204 申请日期 1997.01.29
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 SCHMALZBAUER, KLAUS, DR., 93186 PETTENDORF, DE;EICHINGER, ANDREAS, 93096 KOEFERING, DE
分类号 H01L21/302;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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