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发明名称 DRYING OF RESIST FILM AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 KR0150291(B1) 申请公布日期 1998.10.15
申请号 KR19950006789 申请日期 1995.03.28
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO.,LTD 发明人 SATO, SEIICHIRO;KANODRI, TAKEFUMI
分类号 F26B13/00;B05C9/14;B05D3/02;H01L21/027;(IPC1-7):B05D3/02 主分类号 F26B13/00
代理机构 代理人
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