发明名称 Characterization of a semiconductor-dielectric interface by photocurrent measurements
摘要
申请公布号 EP1024369(B1) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP19990830030 申请日期 1999.01.26
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 POLIGNANO, MARIA LUISA;CARICATO, ANNA PAOLA;CAPUTO, DANIELE
分类号 G01R31/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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