一种薄膜电容器及其制作方法

摘要

本发明提供了一种薄膜电容器芯片及其制作方法。它是先制作母板，其母板的制作方法是：在真空状态下，向一运动着的载体表面形成介质层，在介质层表面喷涂屏蔽油进行屏蔽，在被屏蔽的介质层表面形成电极层，向电极层表面形成介质层，按照该顺序反复进行，采用喷涂屏蔽油是采用喷油嘴组合装置喷印的方法，将排列的喷油嘴与载体表面平行且与载体表面运动方向相垂直，各油嘴之间的距离为芯片两端面的距离的二倍，让喷油嘴组合装置沿载体表面运动的垂直方向作往复串动，载体每运动一个周期，喷油嘴组合装置就串动一下，串动距离与芯片两端面的距离相同。用这种方法和装置来制造薄膜电容器，体积显著减小，造价降低，电性能提高。

主权项

1.一种薄膜电容器的制作方法，先制作介质层[9]与电极层[8]相互叠加的母板，再将母板切割成块状芯片，再将芯片的两端面磨切形成金属引出面[12]或者将芯片的两端面镀喷金属形成金属引出面[13]，其母板的制作方法是：在真空状态下，向一运动着的载体表面[11]采用介质气相沉积法沉积介质气体形成介质层[9]，然后在沉积的介质层[9]表面喷涂屏蔽油进行屏蔽，再在被屏蔽的介质层[9]表面采用金属气相沉积法沉积电极气体形成电极层[8]，再向电极层[8]表面采用介质气相沉积法沉积介质气体形成介质层[9]，按照这个顺序反复进行介质气相沉积、屏蔽、金属气相沉积，所述的采用喷涂屏蔽油是采用喷油嘴组合装置[31]喷印的方法，其特征在于：所采用的喷油嘴组合装置[31]的使用方法是将排列的喷油嘴与载体表面[11]平行且与载体表面[11]运动方向相垂直，各油嘴之间的距离为芯片两端面的距离的二倍，让喷油嘴组合装置[31]沿载体表面[11]运动的垂直方向作往复串动，载体[1]每运动一个周期，喷油嘴组合装置[31]就串动一下，串动距离与芯片两端面的距离相同。